光功率熱分析儀_杭州華盼科技有限公司

光功率熱分析儀產品特點

　　嘉儀通科技研發的OPA是納米級薄膜材料物性分析儀，填補了納米級薄膜材料無損檢測其相變溫度和熱膨脹系數的技術空白！

OPA不僅可用于檢測塊體，還可檢測低至1nm的薄膜材料。

　　OPA根據材料相變前后光學性質（反射光功率）有較大差異的特性檢測材料的相變溫度，依據光干涉原理檢測透光材料的熱膨脹系數，融合了相變溫度分析儀和熱膨脹系數分析儀的兩項功能。

　　OPA可同時檢測材料的相變溫度和熱膨脹系數兩項熱力學參數，且進行無損檢測，保證樣品不被破壞，節約成本。

　　OPA具有獨立知識產權，獲得多項技術專利！

光功率熱分析儀應用功能

各種材料相變溫度（融化、軟化、晶化等）的實時測定

新型材料（相變材料、相變儲能材料）的穩定性測試及性能優化

強誘導體薄膜的結晶化退火

注入離子后的擴散退火

半導體材料的燒成與退火條件研究

玻璃基板的均熱退火

熱循環試驗與熱沖擊試驗

升溫脫離試驗與觸媒試驗

PCA、TEA、OPA 可應用于以下材料：

● NiAl復合薄膜

● 氧化釩薄膜

● PZT鐵電材料

● MgO/Ni-Mn-Ga薄膜

● GST相變存儲薄膜

● 金屬Co薄膜

● Al2O3薄膜

● iN薄膜

● GeTe薄膜

● ZrO2薄膜

● 摻Ti的ZnSb薄膜

● SiC薄膜

● 顯示屏玻璃

● 變記憶合金薄膜

樣品滿足以下要求：

● 尺寸：長x寬（5-20）x（5-20） ,單位mm

● 厚度 2.0mm（含基底）以下為宜

● 變溫度測試樣品，具備光學反射平面

● 熱膨脹系數測試樣品，具備光學反射雙平面

● 適用于透光材料的熱膨脹系數檢測

● 熱膨脹檢測樣品的熱膨脹量≥266nm

光功率熱分析儀應用實例

● 紅外材料	● 復合材料

圖1：VO2不同升溫速率12℃/min、15℃/min 對比圖（四川大學提供樣品）	圖2：鋁鎳合金復合薄膜（西南科技大學提供樣品）
● 相變存儲材料	● 熱電薄膜材料

圖3：相變存儲材料圖（中科院微系統所提供樣品）	圖4：熱電轉換薄膜材料（摻Ti的ZnSb）（深圳大學提供樣品）
● 氧化鋯薄膜

圖5：ZrO2薄膜（清華大學提供樣品）	氧化鋯薄膜與XRD對比圖
● 高溫陶瓷材料	● 硬質合金薄膜材料

圖6：高溫陶瓷材料（TiN薄膜硅基底）（海南大學提供樣品）	圖7：切削刀具相變監測曲線（武漢大學提供樣品）
● SiC薄膜	● 顯示屏玻

SiC薄膜熱膨脹系數監測曲線（中國電子科技集團第五十五研究所提供樣品）	顯示屏玻璃熱膨脹系數監測曲線（武漢天馬提供樣品）

光功率熱分析儀技術參數